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Intelligent leadership in industrial upgrading
| P850 | P1200 | P1600 | |
| 等离子体有效尺寸[mm] | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| 承重[kg] | 500 | 800 | 1200 |
| PVD 技术 | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD |
| 刻蚀技术 | SET® | SET® | SET® |
| 阴极数量 | 4 | 4 | 6 |
| 镀膜时间[h] | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| 涂层硬度[hv] | 1200-2500可调 | 1200-2500可调 | 1200-2500可调 |
| 粗糙度Ra[um] | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.05 |
| 划痕结合力[N] | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 |
| 涂层种类 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu，MoS2, etc. | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu，MoS2 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu，MoS2 |
| 占地面积D*W*H (mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
配置SET 等离子体增强技术，有利于离化C2H2，CH4 等碳源气体，制备低摩擦系数、更高硬度低a-C：H，a-C：Si DLC 涂层，WCC 涂层等。
特点
软件
自然界中最硬的是钻石（sp3键），而石墨（sp2键）是最软的物质之一。DLC是一种混有sp3和sp2键的类金刚石非晶碳的亚稳态物质。SP3键越多则DLC越硬，相反则越软。DLC涂层，通常用于高硬自润滑、耐腐蚀、绝缘、吸光等工况。为实现更多元的功能需求，掺杂Si、F、B、W、Ta等其它元素，则能实现超润滑、耐高温、抗粘黏、减小应力等各种目的。
双刻蚀技术，大幅提升结合力：
基于超过 20 年的持续运行和改进，Naxau 已经开发了一种 的等离子体刻蚀技术 SET 和 CET 。在镀膜之前，对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面，对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物，如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面，打开分子链，促使涂层过程中离子键结合。
turnkey project
一站式提供真空镀膜设备、涂层工艺、外围生产设备建议、人员培训、厂房规划等全套涂层厂量产方案。
纳狮真空镀膜设备，是业界非常可靠的生产输出之一。多种等离子体沉积技术可以在一台设备上复合使用。
纳狮真空镀膜加工-Naxau AM
