낙사우 진공 코팅 공정 - 낙사우 AM
산업용 업그레이드 장비 우선
산업 업그레이드를 위한 인텔리전트 리더십
P 표준 시리즈DLC 진공 코팅 장비
| P850 | P1200 | P1600 | |
| 유효 플라즈마 크기 [mm] | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| 부하 용량 [kg] | 500 | 800 | 1200 |
| PVD 기술 | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD |
| 에칭 기술 | SET® | SET® | SET® |
| 음극 개수 | 4 | 4 | 6 |
| 코팅 시간 [시간] | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| 코팅 경도 [hv] | 1200-2500 조정 가능 | 1200-2500 조정 가능 | 1200-2500 조정 가능 |
| 러프니스 Ra[um] | <0.05 | <0.05 | <0.05 |
| 스크래치 본드 [N] | >30, >20 | >30, >20 | >30, >20 |
| 코팅 유형 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 등 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 |
| 바닥 공간 D*W*H(mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
SET 플라즈마 강화 기술의 구성은 C2H2, CH4 등과 같은 탄소원 기체의 해리를 촉진하고 낮은 마찰 계수, 높은 경도, 낮은 a-C:H, a-C:Si DLC 코팅 및 WCC 코팅의 제조를 용이하게 합니다.
특수성
- 질화물 및 탄화물 필름 제조를 위한 4개의 마그네트론 스퍼터링 음극
- 비평형 폐쇄 자기장을 구성할 수 있습니다. 증착 코팅에는 고밀도, 저에너지 폭격 이온이 사용되며 코팅 밀도가 우수하고 원주형 결정 구조가 낮으며 내부 응력이 낮습니다.
- 증착 속도가 더 빠른 탄소 필름을 위한 이온 빔 강화 PECVD 기술
- 수직 적재, 더 편리한 제품 적재
- 고성능 UBM 스퍼터링 소스
- 필라멘트 아르곤 이온 에칭 소스
- 터보 분자 펌프*2
하드웨어
- PC 인텔리전트 시스템 독일
- 터치 스크린 제어
- 데이터 로깅 및 프로세스 매개변수 및 흐름의 실시간 표시
- 자동 프로세스 제어
- 원격 진단 및 유지 관리
- 디지털 관리 시스템에 액세스
고도로 사용자 정의 가능한 DLC 멤브레인 시스템 - 조정 가능한 매개변수
자연에서 가장 단단한 것은 다이아몬드 (sp3 결합)이고 흑연 (sp2 결합)은 가장 부드러운 물질 중 하나이며 DLC는 sp3 및 sp2 결합이 혼합 된 다이아몬드와 같은 비정질 탄소 기판으로, SP3 결합이 많을수록 DLC가 더 단단하고 그 반대일수록 더 부드럽습니다.DLC 코팅은 일반적으로 고경도, 자체 윤활, 부식 방지, 단열, 광 흡수 및 기타 작업 조건에 사용됩니다. 보다 다양한 기능 요구 사항을 달성하기 위해 Si, F, B, W, Ta 등과 같은 다른 원소로 도핑하면 초윤활, 고온 저항, 접착 방지 및 응력 감소와 같은 다양한 목적을 달성 할 수 있습니다.
P 시리즈 스퍼터 코터애플리케이션 솔루션
사출 나사 - 사출 금형 코팅- 코팅 프로그램질화 크롬 | 질화 티타늄 거울 | DLC | 알루미늄 티타늄
연료전지 양극판용 비귀금속 코팅- 산업 애플리케이션수소 에너지 > 수소 저장 > 양극판 > 귀금속 대체재
DLC 다이아몬드형 코팅- 코팅 프로그램DLC | ta-C 울트라 하드 | WcC | 초윤활 | 내마모성 장식 도금
획기적으로 향상된 결합을 위한 듀얼 에칭 기술::
20년 이상의 지속적인 운영과 개선을 바탕으로 낙사우는 플라즈마 에칭 기술 SET와 CET를 개발했습니다. 코팅 전에 공구 표면을 적절히 에칭하여 깨끗하고 활성화된 인터페이스를 만드는 것은 성공적인 코팅 결과를 위해 매우 중요합니다. 에칭을 위해서는 금속 산화물, 수증기, 미세 오일 및 땀 부스러기와 같은 표면 오염 물질을 제거해야 합니다. 또한 에칭은 표면을 재활성화하고 분자 사슬을 열어 코팅 공정 중에 이온 결합을 유도합니다.
턴키 프로젝트
턴키 프로젝트
진공 코팅 장비, 코팅 공정, 주변 생산 장비 제안, 인력 교육, 공장 계획 및 기타 완벽한 코팅 공장 대량 생산 솔루션을 위한 원스톱 샵입니다.
나노쉴드의 진공 코팅 장비는 업계에서 가장 신뢰할 수 있는 생산 결과물 중 하나입니다. 여러 플라즈마 증착 기술을 하나의 장비에 복합적으로 적용할 수 있습니다.
