Процесс нанесения вакуумного покрытия Naxau - Naxau AM
Оборудование для модернизации промышленности в первую очередь
Интеллектуальное лидерство в модернизации промышленности
Вакуумная машина для нанесения покрытия DLC серии P
продукт и проект
Системы PVD вакуумного напыления NanoShield серии P разработаны на платформе SPARK компании NanoShield с использованием ключевых технологий дуговых катодов CVC (Continuously Variable Cathode) и UFC (Ultra Fine Cathode).
Высокая гибкость и одна из самых надежных производственных мощностей в отрасли. На одном станке можно сочетать несколько технологий плазменной резки.
- На основе дуговой технологии APC
- Технология травления SET
- Повышение скорости нанесения покрытий для многослойных нанокомпозитных структурных покрытий
Серия P StandardОборудование для нанесения вакуумных покрытий DLC
| P850 | P1200 | P1600 | |
| Эффективный размер плазмы [мм] | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| Грузоподъемность [кг] | 500 | 800 | 1200 |
| Технология PVD | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD | CFS ® , PECVD |
| технология травления | УСТАНОВИТЬ® | УСТАНОВИТЬ® | УСТАНОВИТЬ® |
| Количество катодов | 4 | 4 | 6 |
| Время нанесения покрытия [ч] | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| Твердость покрытия [hv] | 1200-2500 регулируемый | 1200-2500 регулируемый | 1200-2500 регулируемый |
| Шероховатость Ra[um] | <0.05 | <0.05 | <0.05 |
| Связь с царапинами [N] | >30, >20 | >30, >20 | >30, >20 |
| Тип покрытия | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 и др. | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 |
| Площадь пола Д*Ш*В (мм) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
Конфигурация технологии плазменного усиления SET способствует диссоциации исходных газов углерода, таких как C2H2, CH4 и т.д., и получению DLC-покрытий с низким коэффициентом трения, высокой твердостью, низким a-C:H, a-C:Si и WCC-покрытий.
особенности
- 4 катода магнетронного распыления для получения пленок нитридов и карбидов
- Можно настроить неравновесное замкнутое магнитное поле. Для нанесения осаждаемого покрытия используются высокоплотные ионы с низкой энергией бомбардировки, с хорошей плотностью покрытия, низкой столбчатой кристаллической структурой и низким внутренним напряжением.
- Технология PECVD с усилением ионного пучка для получения углеродных пленок с более высокой скоростью осаждения
- Вертикальная загрузка, более удобная загрузка продуктов
- Высокопроизводительные источники напыления UBM
- Источник аргоно-ионного травления
- Турбомолекулярный насос*2
оборудование
- PC Intelligent Systems Германия
- Сенсорный экран управления
- Регистрация данных и отображение параметров процесса и потоков в реальном времени
- Автоматическое управление процессом
- Дистанционная диагностика и обслуживание
- Доступ к цифровым системам управления
Высокотехнологичная мембранная система DLC - настраиваемые параметры
Самым твердым в природе является алмаз (связь sp3), а графит (связь sp2) - одно из самых мягких веществ. DLC - это алмазоподобная аморфная углеродная подложка, смешанная со связями sp3 и sp2. Чем больше связей SP3, тем тверже DLC, и наоборот, тем он мягче. DLC-покрытия обычно используются для высокой твердости, самосмазывания, коррозионной стойкости, изоляции, светопоглощения и других рабочих условий. Для достижения более разнообразных функциональных требований, легирование другими элементами, такими как Si, F, B, W, Ta и т.д. может достичь различных целей, таких как суперсмазка, высокая термостойкость, антиадгезия и снижение напряжения.
Напыляемое покрытие серии PПрикладные решения
Винты для литья под давлением - Покрытия для литья под давлением- Программа нанесения покрытийНитрид хрома | Зеркальный нитрид титана | DLC | Алюминий-Титан
Покрытия из недрагоценных металлов для биполярных пластин топливных элементов- Отраслевые примененияВодородная энергетика | Водородные хранилища | Биполярные пластины | Замена драгоценных металлов
Алмазоподобное покрытие DLC- Программа нанесения покрытийDLC | ta-C Ultra Hard | WcC | Super Lubrication | Износостойкое декоративное покрытие
Пластиковые формы- Отраслевые применения Штамповочные формы | Пластиковые формы | Формы для литья под давлением | Формы для растяжки
загрузка...
Уже дошли до последней части контента!
Технология двойного протравливания для значительно улучшенного сцепления::
Основываясь на более чем 20-летнем опыте непрерывной работы и совершенствования, компания Naxau разработала технологию плазменного травления SET и CET. Правильное травление поверхности инструмента для достижения чистого и активированного интерфейса перед нанесением покрытия имеет решающее значение для успешного результата нанесения покрытия. Травление требует удаления поверхностных загрязнений, таких как оксиды металлов, водяной пар, микромасла и остатки пота. Травление также реактивирует поверхность и открывает молекулярные цепочки, чтобы вызвать ионную связь в процессе нанесения покрытия.
проект "под ключ
проект "под ключ
Единый магазин для вакуумного оборудования для нанесения покрытий, процесса нанесения покрытий, предложений по периферийному производственному оборудованию, обучения персонала, планирования завода и других комплексных решений для массового производства покрытий.
Вакуумное оборудование для нанесения покрытий NanoShield является одним из самых надежных в отрасли. На одном оборудовании можно совмещать несколько технологий плазменного напыления.
