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Model P 多技术集成镀膜平台 ​

版本 v1.1 · 数据日期 2026-10-30 · 来源:naxauie.com

一句话:Model P 在单一设备中集成磁控溅射、电弧蒸发、PACVD、HiPIMS 及微波五种技术,自动挡板设计可顺序沉积不同涂层,硬度达 HV2000-2500,DLC 低温制备 160-200℃。

关键参数 ​

参数数值说明
集成工艺磁控溅射 + 电弧蒸发 + PACVD + HiPIMS + 微波一机多用
涂层硬度HV2000-2500高硬度耐磨涂层
DLC 制备温度160-200℃低温,避免回火影响
自动挡板顺序沉积不同涂层单次工艺内多层复合
掺杂技术掺钨 W 等提升高温耐磨性

核心技术 ​

技术模块功能
磁控溅射金属/化合物薄膜沉积
电弧蒸发高离化率硬质涂层
PACVD等离子体辅助化学气相沉积
HiPIMS高功率脉冲磁控溅射
微波等离子体增强

核心优势 ​

  • 多技术集成:五种先进技术集于一机,满足研发到生产多样化需求
  • 自动挡板顺序沉积:单次工艺内可顺序沉积不同涂层,制备多层复合膜
  • 高硬度耐磨:HV2000-2500,掺杂技术(如掺钨W)提升高温耐磨性
  • DLC 无油自润滑:摩擦系数极低,"无粘连",显著降低能耗
  • 低温制备:160-200℃,避免工件回火影响,适用于精密零件与刀具

适用场景 ​

领域典型工件
刀具与精密工具小零件刀具、通用精密零部件、模具配件
汽车发动机核心部件、变速箱与传动部件
人形机器人精密传动件
医疗手术刀、植入物
电子精密电子零件

相关链接 ​