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Model RCX300 固态电池中试镀膜设备
版本 v1.1 · 数据日期 2026-10-30 · 来源：naxauie.com
一句话：Model RCX300 面向固态电池前沿研发，支持锂金属负极沉积与氧化物/硫化物电解质涂层，多模块源可切换蒸发/磁控/离子束工艺。
关键参数
| 参数 | 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 幅宽 | 300 mm（可扩展至 600mm） | 中试规模 |
| 蒸发功率 | 10~50 kW | — |
| 走膜张力 | ±0.5 N | 高精度张力控制 |
| 真空度 | ≤5×10⁻⁵ Pa | 高真空 |
| 工艺模块 | 蒸发 / 磁控 / 离子束 | 可更换 |
| 环境 | 惰性气氛 + 手套箱对接 | 适配锂金属活性材料 |
可沉积材料
| 类别 | 材料 |
|---|---|
| 锂金属负极 | Li 沉积 |
| 氧化物电解质 | LiPON、LLZO、Al₂O₃、TiO₂、Nb₂O₅ |
| 硫化物电解质 | Li₆PS₅Cl（LPSCl）、Li₃PS₄ |
核心优势
- 多模块源灵活切换：蒸发/磁控/离子束可更换，适配多种材料
- 高精度张力控制：±0.5N，保障超薄基膜稳定走膜
- 惰性气氛安全设计：手套箱对接，适配锂金属等活性材料
适用场景
- 固态电池材料研发
- 锂金属负极工艺验证
- 氧化物/硫化物电解质膜开发
- 电池材料中试放大