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P 시리즈 DLC 진공 코팅기

P 시리즈 DLC 진공 코팅기

제품 및 프로젝트

나노쉴드 P-시리즈 PVD 진공 증착 시스템은 나노쉴드의 SPARK 플랫폼에 CVC(연속 가변 음극) 및 UFC(초미세 음극) 아크 음극의 핵심 기술을 적용하여 설계되었습니다.
유연성이 뛰어나고 업계에서 가장 신뢰할 수 있는 생산 결과물 중 하나입니다. 여러 플라즈마 기술을 하나의 장비에 결합할 수 있습니다.

  • APC 아크 기술 기반
  • SET 에칭 기술
  • 다층 나노 복합 구조 코팅의 도금 속도 향상

P 표준 시리즈DLC 진공 코팅 장비

이온 빔 보조 PeCVD - DLC | GLC | ta-C | DLC-x
P850P1200P1600
유효 플라즈마 크기 [mm]D680x850D680x1200D800x1600
부하 용량 [kg]5008001200
PVD 기술 CFS ® , PECVD CFS ® , PECVD CFS ® , PECVD
에칭 기술SET®SET®SET®
음극 개수446
코팅 시간 [시간] 10-12h 10-12h 10-12h
코팅 경도 [hv]1200-2500 조정 가능1200-2500 조정 가능1200-2500 조정 가능
러프니스 Ra[um]<0.05<0.05<0.05
스크래치 본드 [N]>30, >20>30, >20>30, >20
코팅 유형Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 등Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, MoS2
바닥 공간 D*W*H(mm) 4600x2300x20004600x2300x2300 4600x2300x2500

SET 플라즈마 강화 기술의 구성은 C2H2, CH4 등과 같은 탄소원 기체의 해리를 촉진하고 낮은 마찰 계수, 높은 경도, 낮은 a-C:H, a-C:Si DLC 코팅 및 WCC 코팅의 제조를 용이하게 합니다.

특수성

  • 질화물 및 탄화물 필름 제조를 위한 4개의 마그네트론 스퍼터링 음극
  • 비평형 폐쇄 자기장을 구성할 수 있습니다. 증착 코팅에는 고밀도, 저에너지 폭격 이온이 사용되며 코팅 밀도가 우수하고 원주형 결정 구조가 낮으며 내부 응력이 낮습니다.
  • 증착 속도가 더 빠른 탄소 필름을 위한 이온 빔 강화 PECVD 기술
  • 수직 적재, 더 편리한 제품 적재
  • 고성능 UBM 스퍼터링 소스
  • 필라멘트 아르곤 이온 에칭 소스
  • 터보 분자 펌프*2

하드웨어

  • PC 인텔리전트 시스템 독일
  • 터치 스크린 제어
  • 데이터 로깅 및 프로세스 매개변수 및 흐름의 실시간 표시
  • 자동 프로세스 제어
  • 원격 진단 및 유지 관리
  • 디지털 관리 시스템에 액세스
DLC 블랙 기어

고도로 사용자 정의 가능한 DLC 멤브레인 시스템 - 조정 가능한 매개변수

자연에서 가장 단단한 것은 다이아몬드 (sp3 결합)이고 흑연 (sp2 결합)은 가장 부드러운 물질 중 하나이며 DLC는 sp3 및 sp2 결합이 혼합 된 다이아몬드와 같은 비정질 탄소 기판으로, SP3 결합이 많을수록 DLC가 더 단단하고 그 반대일수록 더 부드럽습니다.DLC 코팅은 일반적으로 고경도, 자체 윤활, 부식 방지, 단열, 광 흡수 및 기타 작업 조건에 사용됩니다. 보다 다양한 기능 요구 사항을 달성하기 위해 Si, F, B, W, Ta 등과 같은 다른 원소로 도핑하면 초윤활, 고온 저항, 접착 방지 및 응력 감소와 같은 다양한 목적을 달성 할 수 있습니다.

나노 라이온 이온 강화 PECVD 기술

P 시리즈 스퍼터 코터애플리케이션 솔루션

  • 사출 나사 - 사출 금형 코팅" /&gt;<figcaption><span>               표면 경도 : 2000HV 코팅 두께 : 0.01-0.02mm 내마모성 : ★★★★ 내식성 : ★★★★★ 점착 방지 : ★★★★ 적용 가능한 작업 조건 : 고속, 고압, 끈적 끈적한 재료; 투명 광학 제품, 모든 종류의 렌즈, 도광판 등에 적용 가능; 광학 제품에 일반적으로 사용되는 플라스틱 : PMMA, PC, COC, COP, CR-39 등; 표면 ... ...</span></figcaption></figure></a></div><div class= 사출 나사 - 사출 금형 코팅
    • 코팅 프로그램질화 크롬 | 질화 티타늄 거울 | DLC | 알루미늄 티타늄

    표면 경도: 2000HV 코팅 두께: 0.01-0.02mm 내마모성: ★★★★ 내식성: ★★★★★ 점착 방지: ★★★★ 적용 가능한 작업 조건: 고속, 고압, 점착성 소재; 투명 광학 제품, 모든 종류의 렌즈, 라이트 가이드 플레이트 등에 적용 가능; 일반적으로 사용되는 광학 제품 플라스틱: PMMA, PC, COC, COP, CR-39 등;반영하다.

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  • 연료전지 양극판용 비귀금속 코팅" /&gt;<figcaption><span>    파일럿 단계에 접어든 나노쉴드의 양극판 보호 코팅은 이미 부식 전위와 ICR: 인터페이스 저항 측면에서 업계 평균보다 우수합니다. 나노쉴드의 2세대 수소 연료전지 코팅은 여전히 도핑된 비귀금속 PVD 코팅입니다. 당사는 업계 최고 수준을 유지하기 위해 대학과 긴밀히 협력하고 있습니다.           연료 전지를 위한 맞춤형 이온 소스 및 싱커...</span></figcaption></figure></a></div><div class= 연료전지 양극판용 비귀금속 코팅
    • 산업 애플리케이션수소 에너지 > 수소 저장 > 양극판 > 귀금속 대체재

    파일럿 단계에 접어든 나노쉴드의 양극판 보호 코팅은 이미 부식 전위와 ICR: 인터페이스 저항 측면에서 업계 평균보다 우수합니다. 나노쉴드의 2세대 수소 연료전지 코팅은 여전히 도핑된 비귀금속 PVD 코팅입니다. 당사는 업계 최고 수준을 유지하기 위해 대학과 긴밀히 협력하고 있습니다. 연료 전지를 위한 맞춤형 이온 소스 및 싱커...

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  • DLC 다이아몬드형 코팅" /&gt;<figcaption><span>                       DLC 나노 코팅은 일반적으로 sp3와 sp2 결합의 비율과 수소 함량에 따라 분류됩니다. 다이아몬드는 sp3 결합이고 흑연은 sp2입니다. 코팅의 경도는 일반적으로 sp3 비율이 증가하면 증가합니다. dLC 코팅은 불안정한 재료이며 가열은 비정질 재결정화 및 sp2 흑연으로의 상 변화를 유도합니다. dLC 자체 윤활 하드 코팅 dLC 내마모성 장식 코팅 ...</span></figcaption></figure></a></div><div class= DLC 다이아몬드형 코팅
    • 코팅 프로그램DLC | ta-C 울트라 하드 | WcC | 초윤활 | 내마모성 장식 도금

    DLC 나노 코팅은 일반적으로 sp3와 sp2 결합의 비율과 수소 함량에 따라 분류됩니다. 다이아몬드는 sp3 결합이고 흑연은 sp2입니다. 코팅의 경도는 일반적으로 sp3 비율이 증가함에 따라 증가합니다. dLC 코팅은 불안정한 재료이며 가열하면 비정질 재결정화 및 sp2 흑연으로의 상 변화를 유도합니다. DLC 자체 윤활 하드 코팅DLC 내마모성 장식 코팅 ...

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  • 플라스틱 금형" /&gt;<figcaption><span>    대부분의 플라스틱 사출 성형 제품은 제품의 표면 품질에 대한 요구 사항이 가장 엄격한 외관 부품이며 금형 표면의 모든 문제와 결함은 사출 성형 제품에 완전히 반영됩니다. 플라스틱 금형은 표면 스크래치 및 마모와 같은 표면 경도가 불충분 할뿐만 아니라 부식 문제도 동시에 있습니다. 시중에 나와 있는 대부분의 내마모성 코팅은 내식성이 없습니다. 플라스틱 금형은 종종 다양한 표면을 가지고 있습니다 ...</span></figcaption></figure></a></div><div class= 플라스틱 금형
    • 산업 애플리케이션 스탬핑 금형 | 플라스틱 금형 | 다이캐스팅 금형 | 스트레치 금형

    대부분의 플라스틱 사출 성형 제품은 제품의 표면 품질에 대한 요구 사항이 가장 엄격한 외관 부품이며 금형 표면의 모든 문제와 결함은 사출 성형 제품에 완전히 반영됩니다. 플라스틱 금형은 표면 스크래치 및 마모와 같은 표면 경도가 불충분 할뿐만 아니라 부식 문제도 동시에 있습니다. 시중에 나와 있는 대부분의 내마모성 코팅은 내식성이 없습니다. 플라스틱 금형은 종종 다양한 표면을 가지고 있습니다 ...

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획기적으로 향상된 결합을 위한 듀얼 에칭 기술::

20년 이상의 지속적인 운영과 개선을 바탕으로 낙사우는 플라즈마 에칭 기술 SET와 CET를 개발했습니다. 코팅 전에 공구 표면을 적절히 에칭하여 깨끗하고 활성화된 인터페이스를 만드는 것은 성공적인 코팅 결과를 위해 매우 중요합니다. 에칭을 위해서는 금속 산화물, 수증기, 미세 오일 및 땀 부스러기와 같은 표면 오염 물질을 제거해야 합니다. 또한 에칭은 표면을 재활성화하고 분자 사슬을 열어 코팅 공정 중에 이온 결합을 유도합니다.

턴키 프로젝트

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