Что такое вакуумное оборудование для нанесения покрытий

Что это такое?Оборудование для нанесения вакуумных покрытий? #

Вакуумное оборудование для нанесения покрытий в основном относится к видам покрытий, которые должны выполняться в условиях высокого вакуума, и существует множество их видов, включая вакуумное ионное испарение, магнетронное распыление, молекулярно-лучевую эпитаксию MBE, лазерное напыление PLD и так далее. Основные идеи делятся на испарение и напыление.

То, на что нужно нанести покрытие, становится подложкой, а материал, на который нужно нанести покрытие, - мишенью. Подложка и мишень находятся в одной вакуумной полости.

В общем случае нанесение покрытия испарением подразумевает нагрев материала мишени таким образом, что поверхностные компоненты испаряются в виде атомных кластеров или ионов и осаждаются на поверхность подложки, а тонкая пленка образуется в процессе формирования пленки (рост гетерогенных структурных слоев островной структуры рассеяния). В случае напыления покрытия можно понять, что мишень бомбардируется электронами или высокоэнергетическими лазерами, и поверхностные компоненты распыляются в виде атомных кластеров или ионов, которые в итоге осаждаются на поверхности подложки и подвергаются пленкообразованию.

Процесс использования вакуумного оборудования для нанесения покрытий #

1 Работа электронного шкафа управления #

(1) Водяные насосы, подача воздуха

2) Включите основное питание

3) Включите сервисный насос и вакуумметр, установив манометр в положение V1, и дождитесь значения менее 10, прежде чем приступать к следующему шагу. Это займет примерно 5 минут.

4) Включите механический насос, произведите предварительную откачку, подайте питание на турбомолекулярный насос, включите его, переведите переключатель вакуумметра в положение V2 и откачивайте воздух до уровня менее 2 в течение примерно 20 минут.

5) После того как показания турбомолекулярного насоса достигнут 250, закройте предварительную откачку, откройте блок предварительной откачки и клапан высокого уровня, чтобы продолжить вакуумирование, и вакуумируйте до определенного уровня, прежде чем можно будет открыть манометр высокого вакуума на правой стороне. Наблюдайте за уровнем вакуума. Когда уровень вакуума достигнет 2×10-3, прибор можно включать.

2 Последовательность выключения

1) Отключите манометр высокого вакуума и молекулярный насос.

2) Когда молекулярный насос покажет 50, закройте клапан высокого уровня, предварительную ступень и механический насос последовательно, что займет около 40 минут.

3) Когда значение опустится ниже 50, снова выключите обслуживающий насос.

Применение вакуумного оборудования для нанесения покрытий #

• Режущие инструменты с ЧПУ: все виды фрез, метчики, сверла, зуборезные фрезы, протяжки, лезвия, ножи для высечки
• Различные типы форм: штамповочные формы, формы для формовки, формы для литья под давлением и т.д.
• Прецизионные детали: все виды трансмиссии, износостойкие и другие прецизионные детали, без увеличения размера заготовки.
• Функциональные пленки: медицинская стерилизация, изоляция и электропроводность, высокотемпературное антиоксидирование и т.д., без увеличения размера заготовки или с требованиями к износостойкости
• Архитектурная фурнитура: фурнитура для ванных комнат (например, смесители), дверные замки, дверные ручки, ванные, дверные замки, петли, мебель и т.д.
• Часовое дело: покрытия и кристаллы, которые могут использоваться на корпусах и ремешках.
• Прочая фурнитура: кожаная фурнитура, столовые приборы из нержавеющей стали, оправы для очков, ножи, формы и т.д.
• Большие заготовки: автомобильные колеса, пластины из нержавеющей стали, вывески, скульптуры и т.д.
• Трубы и листы из нержавеющей стали (различные поверхности)
• Мебель, освещение, гостиничное оборудование
• Замки, ручки, фурнитура для ванных комнат, головки для гольфа, столовые приборы из нержавеющей стали, кровь и другие скобяные изделия покрываются сверхпрочной декоративной пленкой.
• На стекла, ювелирные изделия и другие украшения наносятся сверхизносостойкие декоративные (золотые и серебряные) нанопленки, нано-пленки и нанокомпозитные пленки.

Методы обслуживания #

Оборудование для нанесения вакуумного покрытия нуждается в очистке студии раз в 200 раз процесса нанесения покрытия. Регулярно проводите калибровку всех видов измерительного оборудования, приборов, вакуумных насосов и замену расходных материалов, таких как уплотнения и резистивные провода. Периодическое и институциональное обслуживание оборудования для нанесения вакуумных покрытий является одним из основных элементов стабильного качества оборудования для нанесения вакуумных покрытий.