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  • 替代Au焊锡溅射工艺及设备

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    高可靠性高功率器件焊锡溅射(取代Au溅射)技术及设备,可实现材料成本减半 工业控制及自动化、新能源汽车、电机节能、太阳能风能发电等领域需要各种类型的功率器件,功率器件制造流程,硅片的欧姆接触层,采用高可靠性焊锡溅射取代纯金溅射工艺,可以实现材料...

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