可调式阴极模块 2021年2月3日 2893 APC 阴极模块AFC阴极模块可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光斑点,较高的离化率,较小的液滴。更利于低熔点靶材的离化,尤其适用于AlCrN基涂层制备。 , 查看全文