Модуль регулируемого катода

2021-02-03 3546

Регулируемая конструкция магнитного поля обеспечивает более эффективное использование мишени. Более высокая скорость движения дуги, меньшие пятна дуги, более высокая скорость диссоциации, меньшие капли. Лучше подходит для диссоциации мишеней с низкой температурой плавления, особенно для покрытий на основе AlCrN.

Посмотреть полный текст