{"id":657,"date":"2018-11-28T16:43:34","date_gmt":"2018-11-28T08:43:34","guid":{"rendered":"http:\/\/localhost\/theme20\/?p=657"},"modified":"2023-12-12T09:31:52","modified_gmt":"2023-12-12T01:31:52","slug":"\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0435-\u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435-\u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435-\u0440\u0430\u0441\u043f","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0435-\u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435-\u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435-\u0440\u0430\u0441\u043f\/","title":{"rendered":"HPPMS \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 PVD"},"content":{"rendered":"<p>\u0418\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (HPPMS), \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (HIPIMS) - \u044d\u0442\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c PVD, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438. HPPMS \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0412\u0442\/\u0441\u043c <sup>2<\/sup>\u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0445 (\u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0445) \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430\u0445 (\u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u044b\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f) \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 10%. \u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e HPPMS \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0438\u0441\u0441\u043e\u0446\u0438\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a. \u0421\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0434\u0438\u0441\u0441\u043e\u0446\u0438\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u043e\u0442 \u0442\u043b\u0435\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043a \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u0435. \u041f\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u0446\u0438\u043a\u043b \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u044e\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430 (1-10 \u0412\u0442\/\u0441\u043c), \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p>HPPMS \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f (\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a)<\/li>\n<li>\u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412 HPPMS \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434 \u0437\u0430 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u043a \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e ~100 \u043c\u043a\u0441). \u042d\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f [1]. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 HPPMS \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0443 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043e 3 \u041c\u0412\u0442\/\u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430 \u043e\u0442 100 \u0434\u043e 150 \u043c\u043a\u0441. \u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u044f\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 20 \u043a\u0412\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 \u0434\u043e 500 \u0413\u0446. \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0434\u0443\u0433\u043e\u0433\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438. \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 - 3 \u043a\u0412\u0442\/\u0441\u043c\u00a0<sup>2<\/sup>(\u0441 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 - 10 \u0412\u0442\/\u0441\u043c)\u00a0<sup>2's<\/sup>(\u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c) [2].<\/p>\n<p>\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 HPPMS \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u0435 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043c [3]. \u0423\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u0446\u0438\u043a\u043b \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043f\u043e-\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u043c\u0443, \u0432\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434 \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b. \u0411\u044b\u043b\u043e \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e TiO\u00a0<sub>2<\/sub>\u0440\u0443\u0442\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u043c \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u044b \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430 [3]. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 [4].HPPMS \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u043b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 ITO.<\/p>\n<p>\u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f HPPMS \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0438\u0431\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438. \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 [3,4,5-9]. \u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445.TiO <sub>2<\/sub>\u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f - \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 2,2-2,5 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e HPPMS, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u043e\u043a\u0435, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 1 [5]. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0435. \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 3,83 \u0433\/\u0441\u043c <sup>3<\/sup>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 DC \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430 3,71 \u0433\/\u0441\u043c\u00a0<sup>3<\/sup>\u0441 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 1,3 \u043d\u043c \u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 0,5 \u043d\u043c. \u041f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f TiO\u00a0<sub>2 \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f<\/sub>\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 2,72 [3]. \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f SiO\u00a0<sub>2<\/sub>ZnO, Al\u00a0<sub>2<\/sub>\u00a0O\u00a0<sub>3<\/sub>\u0422\u0430\u00a0<sub>2<\/sub>\u00a0O\u00a0<sub>5<\/sub>\u0438 ZrO\u00a0<sub>2's<\/sub>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e\u0431 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a [6,7,8]. \u042d\u0442\u0438 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0432\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u044e\u0442, \u043d\u043e \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u043a\u0438. \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f HPPMS \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u0434\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 [10]. \u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u044b \u0432\u0441\u0435\u0433\u0434\u0430 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439. \u042f \u0432\u0438\u0434\u0435\u043b \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 IF \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0447\u0435\u043c HPPMS [8].<\/p>\n<figure id=\"attachment_290\" class=\"wp-caption alignnone\" aria-describedby=\"caption-attachment-290\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"size-full wp-image-290\" src=\"https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.1.png\" sizes=\"auto, (max-width: 524px) 100vw, 524px\" srcset=\"https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.1.png 524w, https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.1-300x220.png 300w\" alt=\"\" width=\"524\" height=\"384\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-290\" class=\"wp-caption-text\">\u0420\u0438\u0441. 1. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c HPPMS \u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u043e\u043a\u0435 [5] 11.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0415\u0449\u0435 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 HPPMS \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0421\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u044f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043f\u0435\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0435\u0449\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u0439, \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0430, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c HPPMS, \u043f\u043e-\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u043c\u0443, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 [9].<\/p>\n<p>\u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0444\u0440\u0438\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 [11-15]. \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0441 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u0438 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u0438 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u043a\u0430\u043a TiN, CrN <sub>x<\/sub>Cr\u00a0<sub>x<\/sub>\u00a0N\u00a0<sub>y<\/sub>\u0438 Ti\u00a0<sub>3<\/sub>\u00a0SiC\u00a0<sub>2's<\/sub>\u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c HPPMS. \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f TiN \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043c\u0435\u043b\u043a\u0443\u044e \u0437\u0435\u0440\u043d\u0438\u0441\u0442\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u043e\u043a\u0435 [19]. \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f CrN \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443, \u0447\u0435\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c UBM. \u0421\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043a 25 \u0413\u041f\u0430, \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 7 \u0434\u043e 0,2 [15].<\/p>\n<p>HPePMS \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u043b \u0444\u0440\u0438\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 VMeCN \u0438 CrN \/ NbN [16,17]. \u042d\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 COF. \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 TiAlCN \/ VCN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 (Hv = 2900 \u043a\u0433\/\u043c\u043c\u00a0<sup>2<\/sup>) \u0438 \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c COF 0,42. \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f CrN \/ NbN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0443 \u043e\u0442 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 [16]. \u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 V \u0438 Nb, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e HPPMS.<\/p>\n<p>\u0412 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 HPPMS \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0438\u043c\u0435\u0442\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 [17]. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b, \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 3 \u0413\u041f\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 CrN [15].23 \u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 1,6 \u0413\u041f\u0430 \u0434\u043e 6,5 \u0413\u041f\u0430 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b \u0432 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430\u0445 [18]. \u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b \u0432 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u0445 TiN [19,20].<\/p>\n<p>HPPMS \u0431\u044b\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a ITO \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c [21] \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a TCO. \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 ZnO:Al \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u044b \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u041f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u0442\u0447\u0435\u0442\u0430\u0445 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f HPPMS \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u043e\u043a\u0435. \u041d\u0430 \u0440\u0438\u0441. 2 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c HPPMS \u0438 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u043e\u043a\u0435, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 300 C [22]. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 HPPMS. \u041d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 3 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043e\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 (9a - DC \u0438 9b - HPPMS). \u0423\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430, \u0432 o<sub>2<\/sub>\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f 1 \u0441\u043c3 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 ~3,2\u00d710\u00a0<sup>-3<\/sup>\u00a0\u03a9.\u0441\u043c (\u0430\u0431\u0441\u043e\u043b\u044e\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 ITO \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438), \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 HPPMS \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 3,1 ~ \u00d7 10\u00a0<sup>-3<\/sup>\u00a0\u03a9.\u0441\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 O\u00a0<sub>2<\/sub>\u041f\u043e\u0442\u043e\u043a. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 1,35 x 10 <sup>-3<\/sup>\u00a0\u03a9.\u0441\u043c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438 ~1,25 X10\u00a0<sup>-3<\/sup> \u0420\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e HPPMS, \u043f\u043e-\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u043c\u0443, \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u0438 HPPMS \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n<figure id=\"attachment_291\" class=\"wp-caption alignnone\" aria-describedby=\"caption-attachment-291\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignnone wp-image-866 size-full\" src=\"https:\/\/www.naxau.cn\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04.png\" alt=\"\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a ITO, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 (a) \u0438 HPPMS (b)\" width=\"654\" height=\"484\" srcset=\"https:\/\/www.naxauam.com\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04.png 654w, https:\/\/www.naxauam.com\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04-300x222.png 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 654px) 100vw, 654px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-291\" class=\"wp-caption-text\">\u0420\u0438\u0441. 2. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a ITO, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 (\u0430) \u0438 HPPMS (\u0431) [22].<\/figcaption><\/figure>\n<figure id=\"attachment_292\" class=\"wp-caption alignnone\" aria-describedby=\"caption-attachment-292\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"size-full wp-image-292\" src=\"https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.3.png\" sizes=\"auto, (max-width: 612px) 100vw, 612px\" srcset=\"https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.3.png 612w, https:\/\/vtcmagblog.com\/wp-content\/uploads\/2018\/11\/blogimg_1.10.3-300x259.png 300w\" alt=\"\" width=\"612\" height=\"528\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-292\" class=\"wp-caption-text\">\u0420\u0438\u0441. 3. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a ITO, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 (\u0430) \u0438 HPPMS (\u0431) [22].<\/figcaption><\/figure>\n<hr \/>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0430\u0439\u0442 http:\/\/vtcmagblog.com\/<\/p>\n<h3>\u0421\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430:<\/h3>\n<ol>\n<li>D J Christie et al., 47-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2004) 113.<\/li>\n<li>\u0423\u0438\u043b\u044c\u044f\u043c \u0414. \u0421\u043f\u0440\u043e\u0443\u043b, 50 \u043b\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439, \u0414\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u0434 \u041c. \u041c\u0430\u0442\u0442\u043e\u043a\u0441 \u0438 \u0412\u0438\u0432\u044c\u0435\u043d \u0425\u0430\u0440\u0432\u0443\u0434 \u041c\u0430\u0442\u0442\u043e\u043a\u0441, \u0438\u0437\u0434. Society of Vacuum Coaters (2007) 35.<\/li>\n<li>R Bandorf et al., 50-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2007) 160.<\/li>\n<li>J A Davis et al., 47-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2004) 215.<\/li>\n<li>K Sarakinos et al., Rev. Adv. Mater. Sci, 15 (2007) 44.<\/li>\n<li>S Konstantinidis et al., 50-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2007) 92.<\/li>\n<li>W.D. Sproul, D.J. Christie, and D.C. Carter, 47-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 (2004) 96.<\/li>\n<li>D A Glocker et al, \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b 48-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2005) 53.<\/li>\n<li>J Li, S R Kirkpatrick \u0438 S L Rohde, \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f SE-TuA1, \u041e\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f AVS 2007, 14 - 19 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f 2007 \u0433., \u0421\u0438\u044d\u0442\u043b, \u0448\u0442\u0430\u0442 \u0412\u0430\u0448\u0438\u043d\u0433\u0442\u043e\u043d.<\/li>\n<li>D A Glocker et al., 47-\u044f \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2004) 183<\/li>\n<li>A P Ehiasarian et al., \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 45-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 (2002) 328.<\/li>\n<li>J B\u00f6hlmark et al., \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 49-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2006) 334.<\/li>\n<li>J Alami et al., Thin Solid Films 515 (4): 1731-1736.<\/li>\n<li>A P Ehiasarian et al., Surface and Coatings Technology 163-164: 267-272.<\/li>\n<li>J Paulitsch et al., \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 50-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2007) 150.<\/li>\n<li>A P Ehiasarian et al, \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b 49-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2006) 349.<\/li>\n<li>W D Sproul, \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 50-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2007) 591<\/li>\n<li>B M DeKoven et al. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 46-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 (2003) 158<\/li>\n<li>SE+PS-MoA1: \u0420. \u0427\u0438\u0441\u0442\u044f\u043a\u043e\u0432, \"\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\", \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043d\u0430 \u041e\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f AVS 2008, \u0421\u0438\u044d\u0442\u043b, \u0448\u0442\u0430\u0442 \u0412\u0430\u0448\u0438\u043d\u0433\u0442\u043e\u043d, 21 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f 2008 \u0433.<\/li>\n<li>SE+PS-MoA3: A. Amassian et al., \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430 \u041e\u0441\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 AVS 2008, \u0421\u0438\u044d\u0442\u043b, \u0448\u0442\u0430\u0442 \u0412\u0430\u0448\u0438\u043d\u0433\u0442\u043e\u043d, 21 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f 2008 \u0433.<\/li>\n<li>P Eh Hovsepian et al., \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b 50-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u043c (2007) 602.<\/li>\n<li>V Sittinger et al., \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b 49-\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 (2006) 343.<\/li>\n<\/ol>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u9ad8\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04\uff08HPPMS\uff09\uff0c\u4e5f\u79f0\u4e3a\u9ad8\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04\uff08HIPIMS\uff09\u662f\u57fa\u4e8e\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04\u6c89\u79ef\u7684PVD\u6d82\u5c42\u6280\u672f\u3002 [&hellip;]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":866,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"themepark_post_bcolor":"#f5f5f5","themepark_post_width":"1022px","themepark_post_img":"","themepark_post_img_po":"left","themepark_post_img_re":false,"themepark_post_img_cover":false,"themepark_post_img_fixed":false,"themepark_post_hide_title":false,"themepark_post_main_b":"","themepark_post_main_p":100,"themepark_paddingblock":false,"footnotes":""},"categories":[1,6],"tags":[46,32,47],"class_list":["post-657","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-lastest-news","category-coating-technology-and-equipments","tag-hppms","tag-pvd","tag-47"],"metadata":{"catce":["sidebar-widgets4"],"tabtitle":["\u4ea7\u54c1\u63a8\u8350|\u76f8\u5173\u52a8\u6001"],"noprocd":["yes"],"tabs1":["[listpost type=\"2\" cat=\"class-center\" nb=\"15\"]"],"views":["5970"],"tabs2":["[listpost type=\"1 cat=\"news\" nb=\"8\"]"],"_wp_old_slug":["%e6%a1%88%e4%be%8b%e5%89%96%e6%9e%90%ef%bc%9a%e6%ac%a7%e7%9b%9f%e5%9b%bd%e9%99%85%e8%b4%b8%e6%98%93%e7%94%b3%e8%af%89%e5%81%9c%e4%b8%8b%e5%92%8c%e8%a7%a3%e5%8d%8f%e8%ae%ae%e7%ad%be%e8%ae%a2-8","%e6%a1%88%e4%be%8b%e5%89%96%e6%9e%90%ef%bc%9a%e6%b5%81%e6%b0%b4%e7%ba%bf%e8%bd%a6%e9%97%b4%e8%ae%be%e5%a4%87%e9%85%8d%e7%bd%ae%e5%ae%89%e8%a3%85-2"],"_dp_original":["560"],"_edit_lock":["1631772017:1"],"_edit_last":["1"],"_thumbnail_id":["866"],"_wp_old_date":["2020-03-28"],"_headinfo":["a:1:{i:0;a:24:{s:6:\"module\";s:1:\"1\";s:7:\"navtext\";i:15;s:4:\"navb\";b:1;s:5:\"navpd\";i:18;s:5:\"navc1\";s:7:\"#ffffff\";s:5:\"navc2\";s:7:\"#ffffff\";s:5:\"navc3\";s:7:\"#ffffff\";s:5:\"navc4\";s:7:\"#fbfbfb\";s:5:\"navc5\";s:7:\"#000000\";s:5:\"navc6\";i:25;s:5:\"topc1\";s:7:\"#ffffff\";s:5:\"topc2\";s:7:\"#2ba8db\";s:4:\"topf\";i:12;s:6:\"seach1\";s:0:\"\";s:6:\"seach2\";s:0:\"\";s:3:\"sub\";i:209;s:8:\"searchbl\";i:5;s:6:\"navlib\";b:1;s:8:\"subhight\";i:550;s:8:\"submoshi\";s:0:\"\";s:9:\"navheight\";i:75;s:6:\"shadow\";i:0;s:5:\"sicon\";s:7:\"#ffffff\";s:7:\"search1\";s:7:\"#2b2b2b\";}}"],"_top_left_txt1":["a:1:{i:0;a:3:{s:4:\"text\";s:81:\"  Welcome to visit!  we\u2019ve built a culture of service, teamwork, and innovation\";s:3:\"url\";s:29:\"https:\/\/www.themepark.com.cn\/\";s:4:\"icon\";s:16:\"fab fa-wordpress\";}}"],"_top_left_txt2":["a:3:{i:0;a:3:{s:4:\"text\";s:9:\"DOWNLIOAD\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:28:\"fas fa-chevron-circle-right \";}i:1;a:3:{s:4:\"text\";s:3:\"FAQ\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:28:\"fas fa-chevron-circle-right \";}i:2;a:3:{s:4:\"text\";s:5:\"ABOUT\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:28:\"fas fa-chevron-circle-right \";}}"],"_icontext":["a:3:{i:0;a:5:{s:5:\"title\";s:18:\"\u514d\u8d39\u54a8\u8be2\u7535\u8bdd\";s:4:\"text\";s:12:\"400-123-4567\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:14:\"fas fa-headset\";s:5:\"color\";s:7:\"#2ba8db\";}i:1;a:5:{s:5:\"title\";s:12:\"\u8054\u7cfb\u6211\u4eec\";s:4:\"text\";s:12:\"198-999-4584\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:18:\"fas fa-paper-plane\";s:5:\"color\";s:7:\"#2ba8db\";}i:2;a:5:{s:5:\"title\";s:12:\"\u8d28\u91cf\u4fdd\u8bc1\";s:4:\"text\";s:18:\"\u5341\u5e74\u8d28\u4fdd\u8ba1\u5212\";s:3:\"url\";s:0:\"\";s:4:\"icon\";s:18:\"fa fa-pencil-ruler\";s:5:\"color\";s:7:\"#f1a433\";}}"],"_optop":["100"],"_dropbcolor":["#ffffff"],"_droptcolor":["#0f0f0f"],"_droptcolor2":["#146ba2"],"_droptcolor3":["#146ba2"],"_droplogo":["a:1:{i:0;a:36:{s:2:\"id\";i:232;s:5:\"title\";s:6:\"logod2\";s:7:\"caption\";s:0:\"\";s:11:\"description\";s:0:\"\";s:3:\"url\";s:88:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logod2.png\";s:8:\"filename\";s:10:\"logod2.png\";s:4:\"link\";s:42:\"http:\/\/themetest3.local\/?attachment_id=232\";s:3:\"alt\";s:0:\"\";s:6:\"author\";s:1:\"1\";s:4:\"name\";s:6:\"logod2\";s:6:\"status\";s:7:\"inherit\";s:10:\"uploadedTo\";i:13;s:4:\"date\";i:1698398427000;s:8:\"modified\";i:1698398427000;s:9:\"menuOrder\";i:0;s:4:\"mime\";s:9:\"image\/png\";s:4:\"type\";s:5:\"image\";s:7:\"subtype\";s:3:\"png\";s:4:\"icon\";s:60:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-includes\/images\/media\/default.png\";s:13:\"dateFormatted\";s:17:\"2023\u5e7410\u670827\u65e5\";s:6:\"nonces\";a:3:{s:6:\"update\";s:10:\"6970ecc2b8\";s:6:\"delete\";s:10:\"cdbbc04058\";s:4:\"edit\";s:10:\"feebb14a01\";}s:8:\"editLink\";s:62:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/post.php?post=232&action=edit\";s:4:\"meta\";b:0;s:10:\"authorName\";s:5:\"admin\";s:10:\"authorLink\";s:44:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/profile.php\";s:15:\"uploadedToTitle\";s:18:\"\u7f51\u7ad9\u5934\u90e8\u6a21\u677f\";s:14:\"uploadedToLink\";s:61:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/post.php?post=13&action=edit\";s:15:\"filesizeInBytes\";i:6598;s:21:\"filesizeHumanReadable\";s:4:\"6 KB\";s:7:\"context\";s:0:\"\";s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:330;s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";s:5:\"sizes\";a:3:{s:9:\"thumbnail\";a:4:{s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:150;s:3:\"url\";s:96:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logod2-150x133.png\";s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}s:6:\"medium\";a:4:{s:6:\"height\";i:121;s:5:\"width\";i:300;s:3:\"url\";s:96:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logod2-300x121.png\";s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}s:4:\"full\";a:4:{s:3:\"url\";s:88:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logod2.png\";s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:330;s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}}s:6:\"compat\";a:2:{s:4:\"item\";s:0:\"\";s:4:\"meta\";s:0:\"\";}s:9:\"uploading\";b:0;}}"],"_headinfotop":[""],"_logoimg":["a:1:{i:0;a:36:{s:9:\"uploading\";b:0;s:4:\"date\";i:1698398331000;s:8:\"filename\";s:25:\"\u7eb3\u72ee\u82f1\u6587logo_2023.png\";s:9:\"menuOrder\";i:0;s:10:\"uploadedTo\";i:13;s:4:\"type\";s:5:\"image\";s:7:\"subtype\";s:3:\"png\";s:2:\"id\";i:231;s:5:\"title\";s:5:\"logow\";s:3:\"url\";s:53:\"\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/\u7eb3\u72ee\u82f1\u6587logo_2023.png\";s:4:\"link\";s:1:\"\/\";s:3:\"alt\";s:0:\"\";s:6:\"author\";s:1:\"1\";s:11:\"description\";s:0:\"\";s:7:\"caption\";s:0:\"\";s:4:\"name\";s:5:\"logow\";s:6:\"status\";s:7:\"inherit\";s:8:\"modified\";i:1698398331000;s:4:\"mime\";s:9:\"image\/png\";s:4:\"icon\";s:60:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-includes\/images\/media\/default.png\";s:13:\"dateFormatted\";s:17:\"2023\u5e7410\u670827\u65e5\";s:6:\"nonces\";a:3:{s:6:\"update\";s:10:\"66fe8ad057\";s:6:\"delete\";s:10:\"794e9b4d20\";s:4:\"edit\";s:10:\"4a1d3c33be\";}s:8:\"editLink\";s:62:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/post.php?post=231&action=edit\";s:4:\"meta\";b:0;s:10:\"authorName\";s:5:\"admin\";s:10:\"authorLink\";s:44:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/profile.php\";s:15:\"uploadedToTitle\";s:18:\"\u7f51\u7ad9\u5934\u90e8\u6a21\u677f\";s:14:\"uploadedToLink\";s:61:\"http:\/\/themetest3.local\/wp-admin\/post.php?post=13&action=edit\";s:15:\"filesizeInBytes\";i:6501;s:21:\"filesizeHumanReadable\";s:4:\"6 KB\";s:7:\"context\";s:0:\"\";s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:330;s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";s:5:\"sizes\";a:3:{s:9:\"thumbnail\";a:4:{s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:150;s:3:\"url\";s:95:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logow-150x133.png\";s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}s:6:\"medium\";a:4:{s:6:\"height\";i:121;s:5:\"width\";i:300;s:3:\"url\";s:95:\"http:\/\/data.themepark.com.cn\/2021\/n\/smartenterprise_data\/qy20\/uploads\/2023\/10\/logow-300x121.png\";s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}s:4:\"full\";a:4:{s:3:\"url\";s:53:\"\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/\u7eb3\u72ee\u82f1\u6587logo_2023.png\";s:6:\"height\";i:133;s:5:\"width\";i:330;s:11:\"orientation\";s:9:\"landscape\";}}s:6:\"compat\";a:2:{s:4:\"item\";s:0:\"\";s:4:\"meta\";s:0:\"\";}}}"],"_hidesearch":[null],"_optop2":[""],"_optop3":[null],"_betterdocs_reusable_block_ids":["a:0:{}"]},"medium_url":"https:\/\/www.naxauam.com\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04-300x222.png","thumbnail_url":"https:\/\/www.naxauam.com\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04-150x150.png","full_url":"https:\/\/www.naxauam.com\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/HPPMS-HPPMS\u5927\u529f\u7387\u8109\u51b2\u78c1\u63a7\u6e85\u5c04.png","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/657","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=657"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/657\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3570,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/657\/revisions\/3570"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/866"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=657"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=657"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.naxauam.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=657"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}