Модуль травления

Модуль травления SET

Боковая аргон-иономерная система очистки обеспечивает равномерность травления покрытия на эффективной площади ± 10%, скорость травления 250 нм/ч, эффективно удаляет с поверхности материала подложки микроокислительный слой, повышает прочность покрытия и силу сцепления с подложкой.

Модуль травления MET

Травление металла улучшает сцепление твердых покрытий с подложкой. Энергия травления металла регулируется путем настройки магнитного поля катода, чтобы обеспечить работу катода при низком токе. Травление металла при низком токе эффективно снижает риск абляции инструмента.