Модуль травления

2021-02-03 3424

Боковая аргонно-иономерная система очистки обеспечивает равномерность эффективной площади травления покрытия ± 10%, скорость травления 250 нм/ч, эффективно удаляет с поверхности материала подложки микроокислительный слой, улучшает сцепление покрытия и подложки. Травление металла может улучшить сцепление твердых покрытий с подложкой. Регулировка магнитного поля катода обеспечивает работу катода в условиях низкого тока и контролирует энергию травления металла. Низкий ток...

Посмотреть полный текст