Модуль регулируемого катода

2021-02-03Ключевая технология нанесения покрытия многодуговое напыление катодная дуга3550

Катодный модуль APC

Регулируемая конструкция магнитного поля обеспечивает более эффективное использование мишени. Более высокая скорость движения дуги, меньшие пятна дуги, более высокая скорость диссоциации, меньшие капли. Лучше подходит для диссоциации мишеней с низкой температурой плавления, особенно для покрытий на основе AlCrN.

Модуль катода AFC

Регулируя расположение магнитного поля катода, можно изменять горизонтальную и осевую составляющие магнитного поля, чтобы обеспечить скорость и тонкость работы дуги. Передовой высокоэнергетический источник ионов может эффективно уменьшить капли покрытия и удовлетворить большинство однослойных, многослойных и нанослойных покрытий. Особенно выдающиеся результаты в области фрезерования 3C.
Катодная дуга AFC