마그네트론 스퍼터링 - 이중 마그네트론 및 중간 주파수 마그네트론 스퍼터링

2019-02-13 2787

산업 공정에서는 높은 증착률과 목표 활용도가 중요합니다. 마그네트론 음극의 증착 속도는 상대적으로 높지만 증착 공정(이전 블로그에서 다룬)의 증착 속도만큼 높지는 않습니다. 이중 마그네트론/펄스 마그네트론 구성은 높은 증착률과 향상된 재료 활용도를 모두 달성할 수 있습니다[1,2,3]. 듀얼 마그네트론 스퍼터링은 중주파(~40kHz - 300kHz) 펄스 전기...

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