낙사우 진공 코팅 공정 - 낙사우 AM
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고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링(HPPMS)은 고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링(HIPIMS)이라고도 하며, 마그네트론 스퍼터링 증착에 기반한 PVD 코팅 기술입니다.HPPMS는 10% 미만의 낮은 듀티 사이클(온/오프 시간 비율)에서 수십 마이크로초의 짧은 펄스(진동)로 kW/cm 2 수준의 매우 높은 전력 밀도를 활용합니다.HPPMS의 두드러진 특징은 스퍼터링 된 금속이 다음과 같은 특징입니다. 높은 수준의 이온화 및 분자 ...
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