낙사우 진공 코팅 공정 - 낙사우 AM
01 DLC의 일반적인 네리틱 사자 종 #
DLC(다이아몬드 유사 탄소) 다이아몬드 유사 탄소 코팅은 SP3(다이아몬드 구조)와 SP2(흑연 구조) 또는 수소, 실리콘, 불소, 금속 등의 원소와 혼성화된 인공 재료입니다. DLC는 높은 경도, 내식성, 낮은 마찰, 전기 절연성 등 다양한 특성을 가진 탄소 필름 재료의 총칭입니다. 다양한 이방성 특성의 성능은 구조 결합의 비율에 따라 달라집니다. 이질적인 특성은 구조 결합의 비율과 배위 결합 요소의 유형에 따라 달라집니다.
DLC는 다이아몬드의 일부 특성을 가지고 있으며 산업에서 사용되는 대부분의 금속보다 더 단단합니다. 기계 장비에서 가장 일반적으로 사용되는 자체 윤활 코팅입니다.
- a-C = 수소가 없는 무정형 탄소 필름
- a-C:H = 수소 함유 비정질 탄소 필름
- ta-C = 사면체 무수소 비정질 탄소 필름
- ta-C:H = 사면체 수소 함유 비정질 탄소 필름
- a-C:X = 원소 도핑된 무수소 비정질 탄소 필름
02 DLC 코팅의 적용 분야 및 특성: 낙소 코팅 #
DLC는 sp3, sp2 및 원소 도핑을 조정하여 다양한 맞춤형 기능성 코팅을 구현할 수 있습니다.
- 고경도: 2000HV-6000HV
- 낮은 마찰 계수(0.02~0.2)
- 높은 내식성(두께를 늘리고 프라이밍을 추가하면 내식성을 크게 향상시킬 수 있음)
- 기질에 대한 강력한 접착력
- 미세 운동 저항
- 접착 내마모성
- 건조한 마모 조건에서 자체 윤활
- 약 10 ~100-6 Ω 절연 또는 전도성, 일반적으로 수소 함유 DLC 절연
03 DLC 코팅의 일반적인 적용 분야: #
- 알루미늄, 알루미늄 합금 및 분말 야금 합금용 가공 공구
- 금속 성형 금형, 고무 금형, 플라스틱 사출 금형
- 내마모성 및 내식성, 우수한 이형성 및 항균성을 갖춘 플라스틱 및 압출 금형
- 유압 구성품 - 실린더, 피스톤 로드, 기어 펌프, 가이드 링, 이젝터 로드
- 밸브 구성품 - 볼, 게이트, 볼 밸브, 액추에이터
- 자동차 부품 - 크랭크샤프트, 캠샤프트, 기어, 베어링, 피스톤 링, 태핏, 손목 핀, 인젝터
- 펌프 구성품 - 임펠러, 디퓨저, 로터
- 기계식 샤프트 씰
- 부품 단열
- 고급스러운 블랙 외관 장식 도금 - 시계 프레임, 스마트 팔찌 및 기타 웨어러블 장치
04 DLC 코팅 준비 #
PeCVD는 다양한 유형의 DLC 코팅을 준비할 수 있습니다. 일반적인 DLC 코팅의 두께는 1~2μm이며, ta-C는 0.5μm 미만입니다. 따라서 DLC 코팅은 심한 마모나 부식에 대한 저항력이 떨어집니다.
나시(이름)P 시리즈 DLC 진공 코팅기다층 필름 및 전이층 구조를 통해 10μm 이상의 초박막 DLC 복합 필름을 구현하여 DLC 수명과 필름 접착력을 획기적으로 높일 수 있습니다. 250°C 이하의 코팅 온도에서 PACVD는 광범위한 비전도성 및 전도성 기판을 증착할 수 있습니다. 나노라이온 PACVD 코팅 장비에서 증착된 코팅은 약 70%의 비정질 sp3 결합을 포함하고 있어 초경도 ta-C 코팅을 증착할 수 있습니다. HIPIES 기술은 ta-C 코팅의 경도를 더욱 향상시킵니다.
내쉬 PACVD에는 많은 장점이 있습니다:
- 물방울 없음, 사후 연마 없음
- 금속, 비금속, 플라스틱, 탄화규소 세라믹 등 다양한 기판에 증착할 수 있습니다.
- 900mm의 유효 높이에서 필름 두께 균일성 우수
- 다양한 증착 요건에 맞는 가스 공정 및 초순수 흑연 타겟을 사용할 수 있습니다.
- 제품 표면을 세척, 스크러빙 또는 스퍼터 세정하고 기판에 대한 코팅의 접착력을 향상시키는 이중 이온 에칭 기술
Naxi P 시리즈 진공 코팅기의 기본 매개 변수는 다음과 같습니다:
| P850 | P1200 | P1600 | |
| 유효 플라즈마 크기 [mm] | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| 부하 용량 [kg] | 500 | 800 | 1200 |
| PVD 기술 | CFS , PECVD | CFS , PECVD | CFS , PECVD |
| 에칭 기술 | SET | SET | SET |
| 음극 개수 | 4 | 4 | 6 |
| 코팅 시간 [시간] | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| 코팅 경도 [hv] | 1200-2500 조정 가능 | 1200-2500 조정 가능 | 1200-2500 조정 가능 |
| 러프니스 Ra[um] | <0.05 | <0.05 | <0.05 |
| 스크래치 본드 [N] | >30, >20 | >30, >20 | >30, >20 |
| 코팅 유형 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H. GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 등 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H. GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H. GLC, Al-Sn-Cu, MoS2 |
| 바닥 면적 D*W*H(mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
기타:
05 DLC 마모 테스트 #
마모 메커니즘에 따라 더 매끄러운 표면 또는 더 단단한 기질을 선택하는 것이 DLC 코팅의 마모율을 줄이는 방법입니다. 고속 및 높은 베이스(코팅이 단단한 기판에 의해 지지되는 경우)에서 효과적, 마모율: 2.O X 10-8 mm3/N-m
06 DLC와 CrN 코팅 스탬핑 다이의 성능 비교 #
DLC 코팅과 CrN 코팅 모두 2000 HV 영역의 높은 경도를 가지고 있습니다. 내쉬의 금형 온머신 테스트에서 처음 100개의 부품을 테스트했습니다:
CrN+ 코팅에는 마모가 없으나 공작물에는 마모가 발생했습니다. 국부적인 마찰로 인해 금형을 자주 청소해야 했습니다;
흑연 층을 생성하는 DLC 코팅은 마찰 계수가 매우 낮기 때문에 CrN+나 공작물에 마모가 발생하지 않습니다;
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