낙사우 진공 코팅 공정 - 낙사우 AM
배열
PVD-PECVD-DLC 진공 코팅 장비
1999
사양
- 균일성 : ± 15%
- 코팅 시간 : 1시간
- 필름 : TiN, TiAlN, AlCrN, TiAlSiN, AlCrSiN 등
- 펄스 DC 바이어스
- 평면 및 원형 아크
- 특수 고온 히터 : 60KW
- 최대 하중 : 800Kg
- 축 : 12 스핀들
- 코팅 영역 : ф 680 x 850H
생산 능력(샘플)
| 모델 | 삽입 | 엔드밀 | |
| SPCN12 | D7.6 x L45 | D7.6 x L65 | |
| MX850 | 3,024개 | 576개 | 432개 |
| MX680 | 6,720개 | 1,440개 | 1,200개 |
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