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에칭 모듈
코팅 핵심 기술 3419
SET 에칭 모듈
측면 아르곤 이오노머 세정 시스템은 ± 10%의 코팅 에칭 균일성, 에칭 속도 250nm / h의 유효 면적을 보장하여 기판 재료 미세 산화 층의 표면을 효과적으로 제거하여 코팅 및 기판 결합력을 향상시킵니다.
MET 에칭 모듈
금속 에칭은 하드 코팅과 기판의 접착력을 향상시킵니다. 금속 에칭 에너지는 캐소드 자기장 설계를 조정하여 캐소드가 낮은 전류 조건에서 작동하도록 제어합니다. 저전류에서의 금속 에칭은 공구 절삭의 위험을 효과적으로 줄여줍니다.
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