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  • 에칭 모듈

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    측면 아르곤 이오노머 세정 시스템은 ± 10%의 코팅 에칭 균일성, 에칭 속도 250nm / h의 유효 면적을 보장하여 기판 재료 미세 산화 층의 표면을 효과적으로 제거하여 코팅 및 기판 결합을 향상시킵니다. 금속 에칭은 하드 코팅과 기판의 결합을 향상시킬 수 있습니다. 음극 자기장 설계를 조정하여 음극이 저전류 조건에서 작동하도록 하고 금속 에칭 에너지를 제어합니다. 낮은 전류...

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