대체 Au 솔더 스퍼터링 공정 및 장비

재료비를 절반으로 줄일 수 있는 고전력 디바이스를 위한 고신뢰성 솔더 스퍼터링(Au 스퍼터링 대신) 기술 및 장비입니다.

산업 제어 및 자동화, 신 에너지 자동차, 모터 에너지 절약, 태양 풍력 발전 및 기타 분야에는 다양한 유형의 전력 장치, 전력 장치 제조 공정, 실리콘 웨이퍼의 옴 접촉층, 순금 스퍼터링 공정을 대체하기 위해 고 신뢰성 솔더 스퍼터링을 사용하여 재료 비용을 절반으로 줄일 수 있습니다.

열 사이클 테스트, 1 사이클: -40°C x 30분, 125°C x 30분. 솔더 스퍼터링은 1000 사이클이 끝난 후에도 기존 공정과 동일하거나 더 나은 결합 강도를 달성했습니다.

기존 공정의 필름 재료비를 1로 가정하고 새로운 무아연 공정의 비용을 추정한 결과, 솔더 스퍼터링은 기존 Au 스퍼터링에 비해 약 501 TP3T의 필름 재료비를 절감할 수 있었습니다.

멀티 캐소드 캐로슬 장비는 챔버 수를 줄이고 비용 관리를 달성할 수 있습니다.

낙시 신에너지 연구소는 전체 플랜트 맞춤형 진공 코팅 장비 공정 및 장비 솔루션을 제공합니다.

소통과 문의를 환영합니다.