高出力・無液滴・高輝度アークPVD真空装置と高度な工具・金型コーティングソリューション

ナノシールドスパーク高光沢アーク技術は、3C高光沢ナイフコーティング用途に広く使用されています。従来の過臨界アークマルチアークイオンプレーティングや最新のHipims高周波マグネトロンスパッタリングと比較して、液滴が目立ち、膜欠陥が大幅に減少します。

01 一般的なPVD装置プロセスの比較

ナノスパークの液滴フリー技術は新境地を拓くもので、例えばTiNコーティングでは、厚さ2.5µm、成膜速度0.5µm/h、Ra <0.05µm、硬度34Gpaを実現している。

02 高照度アークプロセスの特性

• ハイアーク・コーティング：液滴が少なく硬いコーティング
  
• 高光沢アーク・コーティング：表面粗さを小さくすることで、表面の濡れ性を低下させ、スティッキング防止効果をもたらす。
  
• ハイライトアークコーティング：コーティング液滴の減少、欠陥の減少、より緻密なコーティング
  

03 ナシ高アーク真空コーティング装置

ナシPVD、PECVD、DLCプロセス真空コーティング装置、工具コーティング、金型コーティング、部品コーティング、医療生物コーティングに適しています。工場全体のハードウェアとソフトウェアのターンキー出力プログラムを提供し、「付随」サービスを提供することで、お客様が本当に真空コーティングああ機器を上手に使って話すことができます。

04 高照度アーク工具へのTa-cコーティングの適用

利用するTa-Cコーティング工具寿命を効果的に改善し、加工コストを削減し、製品品質を向上させることができる。