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配列

調整可能カソードモジュール

APCカソードモジュール

APC カソードアーク

調整可能な磁場設計により、より高いターゲット利用率を実現。より速いアークスポット走行速度、より小さなアークスポット、より高い解離率、より小さな液滴。低融点ターゲット、特にAlCrN系コーティングの解離を促進。

AFCカソードモジュール

カソード磁場のレイアウトを調整することで、水平磁場と軸方向磁場成分を変更し、アーク走行速度と微細化を確保します。先進的な高エネルギーイオンソースは、コーティング液滴を効果的に減少させ、ほとんどの単層、多層、ナノ層コーティング生産に対応できます。それは3Cフライスカッターの分野で特に優れています。
AFCカソードアーク
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