HPPMS 高出力パルスマグネトロンスパッタリング PVDコーティング技術 2018-11-28 3018 ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)は、ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリング(HIPIMS)とも呼ばれ、マグネトロンスパッタリングデポジションに基づくPVDコーティング技術である。HPPMSは、10%未満の低デューティサイクル(オン/オフ時間比)で数十マイクロ秒の短いパルス(パルス)でkW / cm 2オーダーの非常に高い電力密度を利用する。高いイオン化度と分子... 全文を見る
ナクソーの真空コーティングプロセス - Naxau AM
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