調整可能カソードモジュール

調整可能な磁場設計により、より高いターゲット利用率を実現。より速いアークスポット走行速度、より小さなアークスポット、より高い解離率、より小さな液滴。低融点ターゲット、特にAlCrN系コーティングの解離を促進。