高出力・無液滴・高輝度アークPVD真空装置と高度な工具・金型コーティングソリューション

2022-09-28 1716

ナノシールドスパーク高光沢アーク技術は、3C高光沢ナイフコーティング用途に広く使用されています。従来のオーバーアーク・マルチアークイオンプレーティングや最新のHipims高周波マグネトロンスパッタリングと比較して、液滴や膜欠陥が大幅に減少します。 NanoSparkの液滴フリー技術はもう一つのブレークスルーです。例えばTiNコーティングでは、厚さ2.5μm、成膜速度0.5μm/h、Ra <0.05μm、硬度34Gpa。 表面粗さ...

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