エッチングモジュール

2021-02-03 3424

側面アルゴンアイオノマークリーニングシステムは、コーティングのエッチングの有効面積が±10%の均一性を確保し、250nm / hのエッチング速度は、効果的にコーティングと基板の結合を強化するために、基材の微小酸化層の表面を除去します。メタルエッチングは、ハードコーティングの基板への結合を強化することができます。カソード磁場設計を調整することで、カソードが低電流条件下で動作することを保証し、金属エッチングのエネルギーを制御します。低電流...