産業用アップグレード設備第一号
産業高度化における知的リーダーシップ

カスタム真空成膜装置
製品とプロジェクト
ナノシールドカスタムシリーズ真空コーティングシステムは、ナノシールドスパークプラットフォーム用に設計されており、蒸着、マルチアークイオンプレーティング、スパッタリング/テンプレーティング、その他の用途にご利用いただけます。ヒピムスPeCVD、PeCVDなど、幅広いプラズマ技術を提供している。キャビティサイズ、複合アイオノマー技術、膜厚モニタリングなど、カスタマイズも可能。R&Dタイプのフレキシブル生産や研究開発に適している。
NanoShieldは真空コーティング技術の研究開発において20年の経験を持ち、常に技術とサービスを会社の基礎としています。NanoShieldは真空コーティングセンター建設、生産ライン周辺機器、真空コーティングシステム、コーティング品質管理システム、担当者SOPトレーニング、コーティングプロセス開発、生涯メンテナンスサービスのワンストップショップです。
- スパッタリング、マルチアーク複合コーティングプロセス;DLC、アモルファス、多層膜などの複雑なコーティングシリーズが実現可能。
- コーティングプロセスのカスタマイズ開発用インテリジェントホストコンピュータ制御システム。
- ナニーエスコートサービス、コーティングセンター運営の問題をワンストップで解決

アークソースのコア技術に精通 - 高度なカスタマイズが可能
調整可能な磁場設計により、より高いターゲット利用率を実現。アークスポット走行速度が速く、アークスポットが小さく、解離速度が速く、液滴が小さく、低融点ターゲットの解離に適しています。
ラミネーターの利点
- ドロップレットフリーハイライトアーク、ヒムス、JVDハイパワーなど様々な最先端技術。
- 多成分、多構造、アモルファス、その他のコーティングシステムの成膜
- 複数のコーティング技術を組み合わせることができる
- 高成膜レート、高膜厚均一性、低コーティング欠陥
接着性を飛躍的に向上させるデュアルエッチング技術::
20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、ナクソーはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングは、金属酸化物、水蒸気、微小油、汗くずなどの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。

風力発電ベアリング・プロジェクト
風力発電ベアリングプロジェクト 産学研究協力
2022年、NanoShieldは、風力タービンの寿命を大幅に向上させ、メンテナンスコストを削減する、風力タービンベアリング用の最初のPeCVD自己潤滑コーティングコーターの納入に成功しました。NanoShieldは、中国のグリーン電力産業の持続可能な発展に貢献しています。
- DLC耐荷重自己潤滑コーティングシリーズ
- DLC、ta-C、Mo含有超潤滑シリーズ、シリコンドープコーティングなど。
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組織的協力
制度的協力 成果の転換
2023年10月31日、NanoShieldは広東理工大学(National Key Laboratory of High Performance Tools)から2つのナノハードコーティングの譲渡を受け、120万人民元の権利譲渡契約を締結した。さらに、NanoShieldはCET/SET横貫通グロー放電エッチングシステム、CVC無電極磁気制御アークソースシステム、UFC高光アークソースシステムを含む500万人民元の多機能高性能コーティング装置一式をGDITに寄贈した。
ターンキープロジェクト
ターンキープロジェクト
真空成膜装置、成膜プロセス、周辺生産設備の提案、人材育成、工場計画など、成膜プラント量産ソリューションをワンストップで提供。

NanoShieldの真空コーティング装置は、業界で最も信頼性の高い生産出力の一つです。複数のプラズマ蒸着技術を1台の装置で複合化することができます。