産業用アップグレード設備第一号
産業高度化における知的リーダーシップ

C400 多機能複合真空コーティング機
C400シリーズ カスタマイズ真空コーティングシステム
C400多機能複合PVDイオンコーターは、4セット(ターゲット直径160mm)のマルチアークイオンソース蒸発源、2セットのマルチマグネトロンスパッタリングソース、および多機能蒸発源(オプション)を備えた実験的薄膜コーティング用の物理蒸着真空コーティング装置です。C400は、さまざまな工業製品に単層および多層薄膜をコーティングするために、多数の異なる純金属または合金ターゲットを同時に取り付けることができます。用途例としては、切削工具、金型、ダイ、パンチ、および表面改質(物理的、化学的、機械的、光学的、彩色的など)を目的とした様々な重要部品(自動車、航空宇宙、海洋、軍事、その他の機器)の工具コーティングや機能性コーティングが挙げられます。
- スパッタリング、マルチアーク複合コーティングプロセス;DLC、アモルファス、多層膜などの複雑なコーティングシリーズが実現可能。
- コーティングプロセスのカスタマイズ開発用インテリジェントホストコンピュータ制御システム。
- ナニーエスコートサービス、コーティングセンター運営の問題をワンストップで解決
C400はCシリーズ用の純正カスタマイズユニットです。HIPIMSとDLC機能は標準装備に含まれていません。C400 PVD多機能コーティングマシンの価格は、C400カスタムコーティングマシン、ターンキーツールキット(コーティングセンター建設パッケージ、機器の梱包、輸送、設置、試運転、トレーニング)、カスタマイズされたコーティングプロセス、およびオンデマンドオプションで構成されています。
設備概要
装置の主なパラメータと動作条件
- 床面積:L4000×W2740×H2200mm
- コーティング有効面積:φ680*H400
- マシン全体のパワー:実働50kw
- 冷却水:純水、PH値6.5-8
- 圧縮空気:定格圧力0.6Mpa以上
- プロセスガス:Ar、H2、N2、C2H2など
- 機器の動作環境:温度15℃~25℃、湿度≤70%
真空仕様(コールド、エンプティ、クリーン)
- 究極の真空度:8×10-4Pa
- ポンピング速度:≦20分
- 圧力上昇率:≤0.8Pa/時間
- 加熱温度:500
- 電気制御システム:PLC全自動制御

アークソースのコア技術に精通 - 高度なカスタマイズが可能
調整可能な磁場設計により、より高いターゲット利用率を実現。アークスポット走行速度が速く、アークスポットが小さく、解離速度が速く、液滴が小さく、低融点ターゲットの解離に適しています。
ラミネーターの利点
- ドロップレットフリーハイライトアーク、ヒムス、JVDハイパワーなど様々な最先端技術。
- 多成分、多構造、アモルファス、その他のコーティングシステムの成膜
- 複数のコーティング技術を組み合わせることができる
- 高成膜レート、高膜厚均一性、低コーティング欠陥
接着性を飛躍的に向上させるデュアルエッチング技術::
20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、ナクソーはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングは、金属酸化物、水蒸気、微小油、汗くずなどの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。

風力発電ベアリング・プロジェクト
風力発電ベアリングプロジェクト 産学研究協力
2022年、NanoShieldは、風力タービンの寿命を大幅に向上させ、メンテナンスコストを削減する、風力タービンベアリング用の最初のPeCVD自己潤滑コーティングコーターの納入に成功しました。NanoShieldは、中国のグリーン電力産業の持続可能な発展に貢献しています。
- DLC耐荷重自己潤滑コーティングシリーズ
- DLC、ta-C、Mo含有超潤滑シリーズ、シリコンドープコーティングなど。
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組織的協力
制度的協力 成果の転換
2023年10月31日、NanoShieldは広東理工大学(National Key Laboratory of High Performance Tools)から2つのナノハードコーティングの譲渡を受け、120万人民元の権利譲渡契約を締結した。さらに、NanoShieldはCET/SET横貫通グロー放電エッチングシステム、CVC無電極磁気制御アークソースシステム、UFC高光アークソースシステムを含む500万人民元の多機能高性能コーティング装置一式をGDITに寄贈した。
ターンキープロジェクト
ターンキープロジェクト
真空成膜装置、成膜プロセス、周辺生産設備の提案、人材育成、工場計画など、成膜プラント量産ソリューションをワンストップで提供。

NanoShieldの真空コーティング装置は、業界で最も信頼性の高い生産出力の一つです。複数のプラズマ蒸着技術を1台の装置で複合化することができます。