産業用アップグレード設備第一号

産業高度化における知的リーダーシップ

C400 多機能複合真空コーティング機

C400シリーズカスタマイズ真空コーティングシステム

C400型多功能复合PVD离子镀膜设备是带有4套（靶直径160mm）多弧离子源蒸发源、2组多磁控溅射源、1组多功能蒸发源（选装）的实验涂覆薄膜的物理气相沉积真空镀膜设备。C400能同时安装多种不同的纯金属靶或合金靶材，在广泛应用的工业产品上镀制单层和多层薄膜。如应用于工具涂层和功能性涂层：切削工具、模具、冲具和各种关键的零组件（汽车、航空、航海、和其他设备上），以达到表面（在物理、化学、机械、光学、色泽等方面）改性的目的。

スパッタリング、マルチアーク複合コーティングプロセス；DLC、アモルファス、多層膜などの複雑なコーティングシリーズが実現可能。
コーティングプロセスのカスタマイズ開発用インテリジェントホストコンピュータ制御システム。
ナニーエスコートサービス、コーティングセンター運営の問題をワンストップで解決

複合塗装機, 小型塗装機, コーティング装置の研究

01 マルチコーティングプロセスの統合スパッタリング、マルチアーク、PeCVD、その他の複合化装置

02 大型機器の小型化工具メッキ、太陽電池、光学デバイスのフレキシブル製造

03 インラインコーティング機標準化、単一大量生産によるコスト削減、効率化に適している。

04 新しいアプリケーション技術の開発カルサイト、複合コレクター、SALD原子蒸着技術

C400はCシリーズ用の純正カスタマイズユニットです。HIPIMSとDLC機能は標準装備に含まれていません。C400 PVD多機能コーティングマシンの価格は、C400カスタムコーティングマシン、ターンキーツールキット（コーティングセンター建設パッケージ、機器の梱包、輸送、設置、試運転、トレーニング）、カスタマイズされたコーティングプロセス、およびオンデマンドオプションで構成されています。

設備概要

装置の主なパラメータと動作条件

床面積：L4000×W2740×H2200mm
コーティング有効面積：φ680*H400
マシン全体のパワー：実働50kw
冷却水：純水、PH値6.5-8
圧縮空気：定格圧力0.6Mpa以上
プロセスガス：Ar、H2、N2、C2H2など
機器の動作環境：温度15℃～25℃、湿度≤70%

真空仕様（コールド、エンプティ、クリーン）

究極の真空度：8×10-4Pa
ポンピング速度：≦20分
圧力上昇率：≤0.8Pa/時間
加熱温度：500
電気制御システム：PLC全自動制御

アークソースのコア技術に精通 - 高度なカスタマイズが可能

調整可能な磁場設計により、より高いターゲット利用率を実現。アークスポット走行速度が速く、アークスポットが小さく、解離速度が速く、液滴が小さく、低融点ターゲットの解離に適しています。

ラミネーターの利点

ドロップレットフリーハイライトアーク、ヒムス、JVDハイパワーなど様々な最先端技術。
多成分、多構造、アモルファス、その他のコーティングシステムの成膜
複数のコーティング技術を組み合わせることができる
高成膜レート、高膜厚均一性、低コーティング欠陥

接着性を飛躍的に向上させるデュアルエッチング技術::

20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、ナクソーはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングは、金属酸化物、水蒸気、微小油、汗くずなどの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。

風力発電ベアリング・プロジェクト

風力発電ベアリングプロジェクト産学研究協力

2022年、NanoShieldは、風力タービンの寿命を大幅に向上させ、メンテナンスコストを削減する、風力タービンベアリング用の最初のPeCVD自己潤滑コーティングコーターの納入に成功しました。NanoShieldは、中国のグリーン電力産業の持続可能な発展に貢献しています。

DLC耐荷重自己潤滑コーティングシリーズ
DLC、ta-C、Mo含有超潤滑シリーズ、シリコンドープコーティングなど。

組織的協力

制度的協力成果の転換

2023年10月31日、NanoShieldは広東理工大学（National Key Laboratory of High Performance Tools）から2つのナノハードコーティングの譲渡を受け、120万人民元の権利譲渡契約を締結した。さらに、NanoShieldはCET/SET横貫通グロー放電エッチングシステム、CVC無電極磁気制御アークソースシステム、UFC高光アークソースシステムを含む500万人民元の多機能高性能コーティング装置一式をGDITに寄贈した。