PVD開口率とプラッタビリティ - アスペクト比

01 PVDの孔径比は？ #

開口率（厚さ対直径比、アスペクト比）、アスペクト比。PVD真空コーティングの経験値、開口深さ：開口＜1：1、開口深さの値は開口よりも大きくすることはできません、そうでなければ、コーティングすることは困難である。被膜が深いほど浅くなり、コーティングの種類とプロセスの深さは同じではありません。しかし、一般的にPVDは内部穴へのめっきには適さない。通常、穴の直径が6mm以下の場合、穴の内側にメッキを施すことは難しく、逆に穴の直径が大きくなればなるほど、メッキを施すことができる確率は高くなる。

深穴めっきは、治具を2次元回転させることで改善できる。下図に示すように、2次元的に回転させると穴の両端がめっきでき、深穴の中央部に行くほど膜厚が薄くなるか、めっきできなくなる。

• 開口率は1：1だが、ワークの真の開口サイズが大きいほど、より深くメッキできる；
• 窒化チタンは優れた巻線めっき特性を持つ；
• ワークを回転させ、両端をコーティングすることも可能だ；
• HiPIMSは1：2を超えることができるが、用途は限られている；
• DLC中空陰極技術が利用可能で、電極はワークピースのチャンバーの奥深くに挿入される；

PeCVDはPVDよりも巻きが良いが、深い穴のメッキにはまだ適していない。PeCVD DLCギアは、内壁が明らかにまぶしい色が表示されます。DLC膜厚が1ミクロンよりも低いと、それは明らかな色が表示されます。DLCの膜厚が1ミクロンより低いと、明らかな色が現れます。また、膜厚が異なると、異なる色が現れます。

02 窒化チタンコーティング 優れた巻線特性 #

PVD窒化チタンコーティング、特にスロット付きパーツは、1:1ルールを明らかに破ることができます。下の写真のスロット付き部品では、一番内側の角だけが明らかに白くなっているのがわかりますが、他の色はもっと均一です。ナシは通常複合イエローチタンを使用し、プライマーと中間層は1-2ミクロン、窒化チタンは1.5ミクロン以下です。従って、コーティング時間を長くすれば、このような両面に溝があるワークにもメッキを施すことができる。

03 真空コーティングボア加工 #

国内最高の16:1PVD深穴コーティング機、証明料2万炉を持って、凌熙は試す機会がなかった。伝説によると、すでに量産に入っている。しかし、中国の産業は、ニッチコーティング機市場などの産業の安価なボリューム、およびスケールの利点を好むが限られている。の真空コーティング技術CVDまた、LPCVDや他の化学蒸着プロセスなどの拡張は、穴の内側にメッキすることができ、ガスがメッキすることができる領域に到達することができます。しかし、内部制御の膜厚はまだ外壁の約半分しかありません。そして、通常、従来のPVDと同じアプリケーションシナリオではありません。

04 PVD窒化チタンをコーティングした金型の例 #

電子銃PVDは金型コーティングに適し、表面に液滴がなく、膜が緻密で、巻きがよく、ナシ金型の鏡面コーティングプロセスの一つである。