真空コーティング装置とは

それは何ですか？真空コーティング装置? #

真空コーティング装置とは、主に高真空下で行うコーティングの一種で、真空イオン蒸着、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング蒸着など多くの種類があります。主な考え方は蒸着とスパッタリングに分けられる。

コーティングが必要なものが基板となり、コーティングが必要な材料がターゲットとなる。基板とターゲットは同じ真空キャビティ内にある。

一般に蒸着コーティングでは、ターゲット材料を加熱して表面成分を原子団またはイオンの形で蒸発させ、基板表面に蒸着させ、成膜プロセス（散乱島構造の不均一構造層の成長）を経て薄膜を形成する。スパッタリングコーティングの場合は、ターゲットに電子または高エネルギーレーザーを照射し、表面成分を原子団またはイオンの形でスパッタリングし、最終的に基板表面に堆積させて成膜する、と簡単に理解できる。

真空コーティング装置使用プロセス #

1 電子制御盤の操作 #

(1) 水ポンプ、空気供給

2) 主電源を入れる

3) サービスポンプとバキュームゲージのスイッチを入れ、ゲージがV1の位置にある状態で、値が10未満になるまで待ってから次のステップに進む。これには約5分かかります。

4) 機械式ポンプのスイッチを入れ、プレポンプを行い、ターボ分子ポンプに通電し、スイッチを入れ、真空計スイッチをV2の位置に切り替え、ポンプで約20分間2以下にする。

5) ターボ分子ポンプの読みが250に達した後、プレポンプを閉じ、プレユニットとハイレベルバルブを開いて真空引きを続け、右側のハイバキュームゲージが開く前にあるレベルまで真空引きする。真空レベルを観察する。真空レベルが2×10-3に達すると、スイッチを入れることができる。

2 シャットダウンシーケンス

1) 高真空計と分子ポンプのスイッチを切る。

2) 分子ポンプが50を示したら、高レベルバルブ、プレステージ、メカニカルポンプを順に閉じ、約40分かかる。

3) 50以下になったら、メンテナンスポンプのスイッチを再び切る。

真空コーティング装置アプリケーション #

• CNC切削工具：各種フライスカッター、タップ、ドリル、ホブカッター、ブローチ、ブレード、ダイカッティングナイフ
• 様々な種類の金型：プレス金型、成形金型、ダイカスト金型など。
• 精密部品：あらゆる種類のトランスミッション、耐摩耗性、およびその他の精密部品、ワークピースのサイズを大きくすることなく。
• 機能性フィルム：医療用滅菌、絶縁、導電性、高温耐酸化など。
• 建築金物：バスルーム金物（蛇口など）、ドアロック、ドアハンドル、バスルーム、ドアロック、金物ヒンジ、家具など
• 時計製造：ケースやストラップに使用できるコーティングやクリスタル。
• その他の金物：革製金物、ステンレス製カトラリー、メガネフレーム、ナイフ、金型など。
• 大型ワーク：自動車のホイール、ステンレス鋼板、看板、彫刻など。
• ステンレス鋼チューブおよびプレート（各種表面）
• 家具、照明器具、ホテル用電化製品
• 錠前、取っ手、浴室の金物、ゴルフのヘッド、ステンレス鋼のカトラリー、血液および他の金物製品は、超硬質装飾フィルムでメッキされています。
• 眼鏡、宝飾品、その他の装飾品は、超耐摩耗性の装飾（金と銀）ナノフィルム、ナノフィルム、ナノ複合フィルムでメッキされている。

メンテナンス方法 #

真空コーティング装置は、コーティングプロセス200回に1回、スタジオを清掃する必要があります。各種検出器、計測器、真空ポンプの定期的な校正、シールや抵抗線などの消耗品の交換。真空成膜装置の定期的、制度的なメンテナンスは、真空成膜装置の安定した品質の核心の一つです。