Maaxコーティングの利点

MaaxCoating™シリーズのPVD真空コーティング装置は、高い柔軟性とコーティングソリューションのカスタマイズ能力を備えています。ほとんどの中級およびハイエンドの工具や金型のコーティングニーズに対応することができます。また、5Gやインテリジェンスなどの新素材やアプリケーションのニーズを満たすために、継続的に技術をアップグレードすることができます。

IETクリーニング・システム

サイドIET洗浄システムは、0.25um/hのエッチング速度でコーティングの有効領域を均一にエッチングする。

SPARK ドロップレットレス・テクノロジー

先進の高エネルギーイオンソースは、コーティング液滴を効果的に減少させ、ほとんどの単層、多層、ナノ層コーティング製造に対応します。

ハードウェアとソフトウェアのアクセラレーションによる運用コストの削減

• 参考コーティング時間：3μmのTiAlNを完成させるのに5時間未満
• ワンボタンコントローラー操作で、炉体温度、真空、クリーニング、コーティング、インテリジェントな完全冷却を実現
• 従来の工具や金型を効率的に加工するための複数種類のホルダー
• 磁気浮上式分子ポンプによるポンプ時間の短縮と真空レベルの保証
• 効率的なエッチング速度と均一性を実現する2つのIET洗浄システム
• 最大250A、8つの高出力ヒーター、合計出力48KW
• 8-10アークカソードでコーティング蒸着速度を飛躍的に向上
• 生産効率を保証する4組の流量計と専用制御システム
• 窒素＋温度調整可能な高純度冷却水、大型ワークの急速冷却用ダブルサイクル。