HPPMS 高出力パルスマグネトロンスパッタリング PVDコーティング技術

2018-11-28 3024

ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)は、ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリング(HIPIMS)とも呼ばれ、マグネトロンスパッタリングデポジションに基づくPVDコーティング技術である。HPPMSは、10%未満の低デューティサイクル(オン/オフ時間比)で数十マイクロ秒の短いパルス(パルス)でkW / cm 2オーダーの非常に高い電力密度を利用する。高いイオン化度と分子...

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