代替金はんだスパッタリングプロセスと装置

2021-11-01 2894

 産業制御と自動化、新エネルギー自動車、モーターの省エネ、太陽光風力発電などの分野では、パワーデバイスの様々なタイプを必要とし、パワーデバイスの製造工程は、シリコンウェハのオーミックコンタクト層は、高信頼性のはんだスパッタリングを使用すると、純金スパッタプロセスを置き換えるために、材料コストを半減させることで実現することができます。 熱サイクル試験、1サイクル：-40℃×30分、125℃×30分...

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