エッチングモジュール

SETエッチングモジュール

側面アルゴンイオノマークリーニングシステムは、コーティングの有効面積のエッチング均一性が±10%、エッチング速度が250nm / hであることを確認し、効果的に基板材料の微小酸化層の表面を除去し、コーティングと基板の結合力を向上させます。

METエッチングモジュール

メタルエッチングは、ハードコーティングの基板への結合を強化する。メタルエッチングのエネルギーは、カソードが低電流条件で動作するようにカソード磁場設計を調整することによって制御されます。低電流でのメタルエッチングは、ツールのアブレーションのリスクを効果的に低減します。