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title: 什么是真空镀膜设备
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updated: "2023-12-11"
category: 真空镀膜设备
tags:
  - PVD
  - 真空镀膜设备
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# 什么是真空镀膜设备

## 什么是[真空镀膜设备](/category/%e6%b6%82%e5%b1%82%e5%85%b3%e9%94%ae%e6%8a%80%e6%9c%af/%e5%ae%9a%e5%88%b6pecvd-pvd-ald%e7%9c%9f%e7%a9%ba%e9%95%80%e8%86%9c%e8%ae%be%e5%a4%87/)？

真空镀膜设备主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，种类很多，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等。主要思想分为蒸发和溅射。

需要镀膜的成为基材，需要镀膜的材料成为靶材。基板和靶材在同一个真空腔中。

一般而言，蒸发镀膜是通过加热靶材使表面成分以原子团或离子形式蒸发，并沉淀在基板表面，通过成膜工艺（散射岛结构杂散结构层生长）形成薄膜。对于溅射镀膜，可以简单的理解为靶材受到电子或高能激光的轰击，表面成分以原子团或离子的形式被溅射出来，最后沉积在基材表面，经历成膜成型。

## 真空镀膜设备使用流程

### 1 电控柜的操作

1）水泵、气源

2) 打开主电源

3) 打开维修泵和真空计的电源，真空计的V1位置，等待数值小于10，然后进入下一步操作。大约需要 5 分钟。

4）打开机械泵，预抽，涡轮分子泵通电，开机，真空表开关切换到V2位置，抽到小于2，约20分钟。

5）涡轮分子泵读数达到250后，关闭预抽，打开前置单元和高位阀继续抽真空，抽真空到一定程度后，右侧高真空表才能打开。观察真空度。当真空度达到2×10-3时，即可开机。

2 关机顺序

1） 关闭高真空计和分子泵。

2）当分子泵显示到50时，依次关闭高位阀、前级和机械泵，大约需要40分钟。

3）当低于50时，再次关闭维护泵。

## 真空镀膜设备应用范围

- 数控刀具：各类铣刀、丝锥、钻头、滚齿刀、拉刀、刀片、模切刀
- 各类模具：冲压模具、成型模具、压铸模具等
- 精密零件：各类传动、耐磨等精密零件，不增加工件尺寸
- 功能膜：医疗灭菌、绝缘及导电、高温防氧化等，不增加工件尺寸或有耐磨要求
- 建筑五金：卫浴五金（如水龙头）、门锁、门把手、卫浴、门锁、五金合页、家具等。
- 制表业：可用于表壳和表带的涂层和水晶制品。
- 其他五金：皮革五金、不锈钢餐具、眼镜架、刀具、模具等。
- 大型工件：汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。
- 不锈钢管材和板材（各种表面）
- 家具、灯具、酒店电器
- 锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、血液等五金制品均镀有超硬装饰膜。
- 眼镜、首饰等饰品镀有超耐磨装饰（金银）纳米膜、纳米膜和纳米复合膜。

## 维护保养方法

真空镀膜设备每完成200次镀膜工序，需要对工作室进行一次清扫。定期对各类传感设备、仪器仪表、真空泵校准，密封圈、电阻丝等耗材更换。对真空镀膜设备的周期性、制度化的保养，是真空镀膜设备品质稳定的核心要素之一。