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工业升级 设备先行

Intelligent leadership in industrial upgrading

M系列刀工具真空镀膜机

C400多功能复合真空镀膜机

C400 Series Customized vacuum coating system

C400型多功能复合PVD离子镀膜设备是带有4套(靶直径160mm)多弧离子源蒸发源、2组多磁控溅射源、1组多功能蒸发源(选装)的实验涂覆薄膜的物理气相沉积真空镀膜设备。C400能同时安装多种不同的纯金属靶或合金靶材,在广泛应用的工业产品上镀制单层和多层薄膜。如应用于工具涂层和功能性涂层:切削工具、模具、冲具和各种关键的零组件(汽车、航空、航海、军事和其他设备上),以达到表面(在物理、化学、机械、光学、色泽等方面)改性的目的。

  • 溅射、多弧复合镀膜工艺;可实现包括DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列
  • 使用于涂层制程定制开发的智能上位机控制系统
  • 保姆式陪跑服务,一站式解决涂层中心运营问题

C400为是C系列的库存性定制设备。标配中不含HIPIMS和DLC功能。纳狮的自用型研测试镀膜机,就是C400高配版,欢迎打样测试。C400 PVD多功能镀膜机价格组成:C400定制镀膜机;交钥匙工具包(涂层中心建厂方案包;设备包装、运输、安装调试及培训);定制涂层工艺;按要求选配。

设备描述

设备运行主要参数及条件

  • 占地空间:L4000×W2740×H2200mm
  • 镀膜有效区:φ680*H400
  • 整机功率:实际工作 50kw
  • 冷却水:纯水,PH 值 6.5-8
  • 压缩空气:额定压强0.6Mpa以上
  • 工艺气体:Ar、H2、N2、C2H2等
  • 设备运行环境:温度 15℃-25℃,湿度≤70%

真空技术指标(冷态、空载、清洁)

  • 极限真空度:8×10-4Pa
  • 抽速:≤20分钟
  • 压升率:≤0.8Pa/小时
  • 加热温度:500℃
  • 电气控制系统:PLC全自动控制

掌握核心弧源技术-高度定制

可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光斑点,较高的离化率,较小的液滴,更利于低熔点靶材的离化。

复合机的优势

  • 无液滴高光弧、Himims、JVD大功率等多种前沿技术
  • 沉积多组分、多结构、非晶态等涂层体系
  • 可复合多种镀膜技术
  • 高沉积率、高膜厚均一性、低涂层缺陷

双刻蚀技术,大幅提升结合力

基于超过 20 年的持续运行和改进,Naxau 已经开发了一种 的等离子体刻蚀技术 SET© 和 CET© 。在镀膜之前,对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面,对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物,如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面,打开分子链,促使涂层过程中离子键结合。

新能源涂层

Wind Power Bearing Project

风电轴承项目 产学研合作


2022年,纳狮已成功交付了首台风电轴承PeCVD自润滑涂层镀膜机,大幅提升风轮机的寿命和降低维护成本。纳狮,助力中国绿电事业可持续发展。

  • DLC承重自润滑涂层系列
  • DLC、ta-C、含Mo超润滑系列、含硅等掺杂涂层

参观高性能工具全国重点实验室(广东工业大学)

Institutional Cooperation

院校合作 成果转化


2023年10月31日,纳狮承接高性能工具全国重点实验室(广东工业大学)两项纳米硬质涂层 成果转让,签订了价值壹佰贰拾万元整的 权转让实施合同。此外,纳狮还向广工大捐赠价值五百万元的多功能高性能涂层设备一套,该设备囊括CET/SET侧向-贯穿式辉光放电刻蚀系统、CVC无极磁控弧源系统、UFC高光弧源系统。

交钥匙工程

turnkey project

一站式提供真空镀膜设备、涂层工艺、外围生产设备建议、人员培训、厂房规划等全套涂层厂量产方案。